Profilm 3DFilmetrics 3D光學(xué)輪廓儀

Filmetrics 白光干涉儀（3D光學(xué)輪廓儀）
 

　　Profilm3D的解析力

　　每臺(tái)Profilm3D帶有直觀的粗糙度，表面形貌和臺(tái)階高度的測(cè)量軟件。所有常見(jiàn)如ISO 25178 所規(guī)范的粗糙度參數(shù)都支持，也包括軟件功能用于形貌分析， 如形狀去除和波長(zhǎng)過(guò)濾，都包含在基本Profilm3D軟件。對(duì)于更進(jìn)階的功能，F(xiàn)ilmetrics提供了我們的合作伙伴T(mén)rueGage的TrueMap軟件可進(jìn)一步處理 Profilm3D數(shù)據(jù)， 這當(dāng)然也與業(yè)界其他標(biāo)準(zhǔn)分析軟件兼容。
 

　　其他輪廓儀列為選備的功能已經(jīng)是我們的標(biāo)準(zhǔn)配備

　　為什么需要額外支付每位使用者所需要的功能？每臺(tái)Profilm3D都已標(biāo)配自動(dòng)化X/Y平臺(tái)包含tip/tilt 功能。
 

　　以我們的階高標(biāo)準(zhǔn)片建立標(biāo)準(zhǔn)

　　每臺(tái)Filmetrics 白光干涉儀（3D光學(xué)輪廓儀）配備了一個(gè)10微米階高標(biāo)準(zhǔn)片，可達(dá)0.5%準(zhǔn)確度。另我們還提供具有100nm，2微米以及4微米等多階高標(biāo)準(zhǔn)片。
 

　　大視場(chǎng)

　　The Profilm3D以10倍物鏡優(yōu)異地提供更寬廣的2毫米視野, 其數(shù)位變焦功能有助于緩解不同應(yīng)用時(shí)切換多個(gè)物鏡的需要。 更進(jìn)一步減少總體成本。 本司也提供手動(dòng)或自動(dòng)物鏡切換炮塔等配置可彈性運(yùn)用于需使用多物鏡應(yīng)用之樣。
 

　　白光干涉儀（3D光學(xué)輪廓儀）常見(jiàn)的選購(gòu)配件：

　　主動(dòng)式防震臺(tái)

　　4微米，2微米， 和100納米多臺(tái)階高度標(biāo)準(zhǔn)。1.25英寸方形硅片上鍍鉻

　　手動(dòng)4-物鏡炮塔及位置感測(cè)

　　自動(dòng)4-物鏡炮塔及位置感測(cè)