激光干涉儀 PhaseCam 6110

1. 產(chǎn)品簡(jiǎn)介

       PhaseCam 6110高分辨率類型激光干涉儀是PhaseCam6000系列激光干涉儀的另一種型號(hào)，有助于提高大孔徑光學(xué)元件表面測(cè)量的分辨率，適用于數(shù)字處理和高分辨率系統(tǒng)調(diào)整。

       PhaseCam 6110干涉儀采用分離光源和干涉儀的設(shè)計(jì)，主體尺寸小。它還配備了特殊的調(diào)節(jié)架，易于安裝和定位，并且便于進(jìn)行五維調(diào)節(jié)，是測(cè)量焦距準(zhǔn)直儀，低溫光學(xué)真空實(shí)驗(yàn)等的理想儀器。
       PhaseCam 6110略大于PhaseCam 6010，并且具有更好的可維護(hù)性。
2. 基本屬性
系統(tǒng)描述：對(duì)振動(dòng)不敏感的Tiemann Green型動(dòng)態(tài)相移激光干涉儀
采集方式：瞬時(shí)相移型帶相位相關(guān)檢測(cè)器
核芯技術(shù)：相移干擾技術(shù)（PSI）
光源：穩(wěn)定頻率HeNe@632.8nm；可選波長(zhǎng)1550nm
相干長(zhǎng)度：> 100m
光束直徑：7mm
極化：圓極化
相機(jī)像素：2000×2000像素，12位
尺寸：測(cè)量頭：<38.9 x 15.7 x 9.1厘米

          激光：48.3 x 20.3 x 11.9厘米

3. 系統(tǒng)性能
采集速率：> 10幀/秒（實(shí)時(shí)顯示）
                 > 15幀/秒（后處理）
zui小曝光時(shí)間：35微秒
樣品反射率：1-100％（無(wú)衰減）
RMS重復(fù)性：<0.001wave *
RMS精度：<0.002wave **
* 10個(gè)數(shù)據(jù)的RMS值的1σ方差用作結(jié)果；每個(gè)數(shù)據(jù)是16次測(cè)試的平均值
**使用10個(gè)數(shù)據(jù)，每個(gè)數(shù)據(jù)是16次測(cè)試的平均值；這10個(gè)數(shù)據(jù)的平均值用作參考值；每個(gè)數(shù)據(jù)與參考值之間的差用于計(jì)算RMS平均值作為結(jié)果
4. 配置選項(xiàng)
擴(kuò)束鏡：Φ50mm，Φ100mm，Φ300mm

球面擴(kuò)束鏡：F / 1至F / 32；可以定制

       4D Technology成立于2002年，致力于為航空航天，天文學(xué)，光學(xué)制造，半導(dǎo)體和數(shù)據(jù)存儲(chǔ)領(lǐng)域開發(fā)高精度測(cè)試儀器。 岱美儀器為4D技術(shù)公司的合作伙伴。該公司獨(dú)有的動(dòng)態(tài)相移測(cè)量技術(shù)改變了傳統(tǒng)光學(xué)干涉儀對(duì)使用環(huán)境的苛刻要求，并極大擴(kuò)展了該儀器的應(yīng)用范圍。 4D技術(shù)公司因其在這一領(lǐng)域的重大創(chuàng)新和杰出成就而贏得了許多榮譽(yù)，包括自2004年以來(lái)連續(xù)三年獲得R＆D100獎(jiǎng)和NASA戈達(dá)德杰出貢獻(xiàn)獎(jiǎng)。 4D技術(shù)公司在激光干涉儀，光學(xué)儀器，軟件開發(fā)，質(zhì)量控制和技術(shù)支持方面擁有專業(yè)的團(tuán)隊(duì)。 其高質(zhì)量的產(chǎn)品和服務(wù)贏得了許多世界一留企業(yè)客戶的信任和認(rèn)可。